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三氟化氮 NF3

三氟化氮 NF3

三氟化氮介绍:三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。三氟化氮相关参数产品名称: 三···
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三氟化氮介绍:

三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

三氟化氮相关参数

产品名称: 三氟化氮 NF3

化学式:NF3

包装规格:44L、17L

纯度(%)及杂质(ppm):99.99%

CAS No.:7783-54-2。

UN UN.:2451 

基本性质:气体

分子量:71.01

熔点:–206.8℃(1atm)

沸点:–129℃(1atm)

临界温度:–39.3℃

临界压力:44.02atm(4.46MPa)

液体密度:1554 kg/m3(1atm,沸点时)

气体密度:2.95 kg/m3(1atm,21℃)

水中溶解度(1atm,22℃):1.43×10-5当量浓度。

危险性类别:第2.3类有毒气体,在空气中的最高允许含量为29mg/m3。 

产品纯度: 99.99%~99.995%

产品包装:47L专用钢瓶,22kg/瓶;40L专用钢瓶,20kg/瓶;8L专用钢瓶,3.4kg/瓶;

钢瓶标准:DOT-3AA, GB5099;

阀门:CGA330、CGA640

纯净的NF3气体是一种无色无味的气体,当混入一定量的杂质气体后颜色发黄,同时会有发霉或刺激性气味。NF3气体不可燃,但能助燃。当温度超过350℃时,三氟化氮气体会缓慢分解,分解时产生强氧化性氟,因此,在高温下它是一种强氧化剂。

分子量熔点沸点临界温度临界压力液体密度气体密度CAS号
71.01-206.8℃(1atm)-129℃(1atm)-39.3℃44.02atm(4.46MPa)1554kg/m3(1atm沸点时)2.95kg/m3(1atm 21℃)7783-54-2
钢瓶容积钢瓶型号阀门钢瓶压力气体质量危规号UN编号包装分类包装标志
47L、43.3L、40L、8LDOT-3AA、GB5099CGA330、CGA6409.0-13.0MPa22kg、20kg、3.4kg2301624516

三氟化氮产品用途:

三氟化氮是用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源,在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出,所HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术,它的需求量将日益增加。 

三氟化氮储存及运输

三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射,与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。

三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸,防止钢瓶及附件破损。

三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好,用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。

三氟化氮泄漏应急处理

如遇有三氟化氮气体泄露,工作人员要马上撤离泄漏污染区,并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒,应立即送往医院救治。

泄露现场要尽快处理,处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具,最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员,泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。

三氟化氮气体产品质量标准(QJ58-2007)

杂质NF3≥99.995% Vol.%NF3≥99.99% Vol.%NF3≥99.98% Vol.%NF3≥99.9% Vol.%
CF4≤20 Vol.ppm≤40 Vol.ppm≤100 Vol.ppm≤500 Vol.ppm
N2≤5 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤50 Vol.ppm
O2+Ar≤3 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤50 Vol.ppm
CO2≤1 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤10 Vol.ppm
H2O≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1  Vol.ppm
酸份(以HF计)≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1 Vol.ppm≤1  Vol.ppm
SF6≤1 Vol.ppm≤2 Vol.ppm≤2 Vol.ppm≤25 Vol.ppm
N2O≤1 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤10 Vol.ppm
CO≤0.5 Vol.ppm≤5 Vol.ppm≤10 Vol.ppm≤10 Vol.ppm
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