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99.999%高纯四氟化碳 CF4

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高纯四氟化碳相关参数产品名称: 四氟化碳 四氟化碳气体 四氟甲烷 全氟化碳产品等级:分析纯产品纯度:99.99%~99.9999%包装规格:40L钢瓶 30kg/瓶英文名称: carbon tetrafluoride英文别名: TetrafluoromethaneCAS: 75-73-0EINECS: 200-896-5分子式: CF4分子量: 88物化性质: - 熔点:-184℃包装说明: 43L DOT钢瓶,钢瓶尺寸23 × 130cm,316L SS材质阀门,阀门型号:CGA660高纯四氟化碳充装标准序号名称化学式纯度···
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高纯四氟化碳相关参数

产品名称: 四氟化碳 四氟化碳气体 四氟甲烷 全氟化碳

产品等级:分析纯

产品纯度:99.99%~99.9999%

包装规格:40L钢瓶  30kg/瓶

英文名称: carbon tetrafluoride

英文别名: Tetrafluoromethane

CAS: 75-73-0

EINECS: 200-896-5

分子式: CF4

分子量: 88

物化性质: - 熔点:-184℃

包装说明: 43L DOT钢瓶,钢瓶尺寸23 × 130cm,316L SS材质阀门,

阀门型号:CGA660

高纯四氟化碳充装标准

 


序号名称化学式纯度(%)压力(Mpa)充装量(m3/kg)阀门|螺纹出口 钢瓶容积(L)钢瓶尺寸(cm)钢瓶皮重(kg)
1四氟化碳/R14CF499.999428公斤PX-32|G5/84029×14550
2四氟化碳/R14CF499.999430公斤CGA5804429×14553
3四氟化碳/R14CF499.99945公斤PX-32|G5/8822×7010

高纯四氟化碳产品说明: 

四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。空气中不燃烧,是比较稳定的无毒物质。但是在高温时,或与可燃气体一同燃烧时,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa时,水中溶解度为0.0015%(重量)。有轻微的水解作用。。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于它的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。  

四氟化碳产品用途

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。

1. 可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-H2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。

2. 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、

泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

3. 由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。

4. 四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的深度内,小白鼠仍可安全脱险。

高纯四氟化碳注意事项: 

不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。四氟化碳一般认为是惰性低毒物质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。 四氟化碳为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。可以用聚四氟乙烯,环氧树脂和醋酸纤维。尼龙在高温,有水和空气时变脆。聚三氟氯乙烯聚合体可以用,但稍微有膨胀。废气可直接排人大气中。


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